LEXT OLS5500 全新一代精準(zhǔn)測量激光共聚焦顯微鏡
OLS5500是一款屢獲殊榮的成像平臺，融合了激光掃描顯微鏡（LSM）、白光干涉儀（WLI）和聚焦變化顯微鏡（FVM）技術(shù)。該產(chǎn)品專為研發(fā)、質(zhì)量保證和質(zhì)量控制團(tuán)隊設(shè)計，可提供**的表面細(xì)節(jié)、可追溯的精度以確保測量的可靠性，以及直觀的用戶體驗(yàn)以簡化工作流程。 由精密光學(xué)、可驗(yàn)證校準(zhǔn)和智能自動化驅(qū)動的可信數(shù)據(jù)，幫助實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)從*初發(fā)現(xiàn)到*終判定的無縫過渡。
OLS5500融合LSM、WLI和FVM三種成像技術(shù)于一體，在提供便捷操作體驗(yàn)的同時，實(shí)現(xiàn)了較傳統(tǒng)激光共聚焦顯微鏡快40倍的檢測效率。
測量更精準(zhǔn)，工作更安心
精準(zhǔn)表面測量的全方位成像解決方案
· LSM: 橫向分辨率，精準(zhǔn)測量粗糙紋理、微觀結(jié)構(gòu)和陡峭斜面。
· WLI: 納米級垂直精度，適合測量光滑表面、斜面和薄膜。
· FVM: 從宏觀到微觀測量全覆蓋，適用于測量需要更廣視野的大面積或不規(guī)則區(qū)域。
精準(zhǔn)測量每一種表面
OLS5500憑借高清晰成像能力可識別細(xì)微特征和表面變化—采用 LSM、WLI 和 FVM 檢測缺陷、確認(rèn)設(shè)計，做出可信決策。
無論測量傾斜角度大的樣品、反射表面還是復(fù)雜結(jié)構(gòu)，我們自主研發(fā)的物鏡能夠保持整個視場的清晰度和形狀保真度。
備注：（左圖： 使用傳統(tǒng)鏡頭邊緣區(qū)域失真會增大，從而影響測量精度。 右圖： 使用 LEXT 鏡頭可以無失真地再現(xiàn)邊緣區(qū)域，實(shí)現(xiàn)高精度測量。)
激光顯微鏡物鏡
專用 LEXT 物鏡能夠精準(zhǔn)測量邊緣區(qū)域，克服了傳統(tǒng)物鏡面臨的測量挑戰(zhàn)。
準(zhǔn)確、可信的測量
采用 LSM、WLI 和 FVM 實(shí)現(xiàn)可驗(yàn)證、可追溯的可信測量，減少了重復(fù)測試、返工和拒收情況的發(fā)生。
準(zhǔn)確性和重復(fù)性保障
在多種應(yīng)用中獲得一致且高精度的測量結(jié)果—OLS5500 是款能夠確保 LSM 和 WLI 測量結(jié)果準(zhǔn)確性和重復(fù)性* 的 3D 光學(xué)輪廓測量設(shè)備。
由技術(shù)人員進(jìn)行現(xiàn)場校準(zhǔn)，可確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，并帶有時間戳記錄，從而確保符合國際計量標(biāo)準(zhǔn)。
更智能的工作流程，*大化的檢測通量
OLS5500 的智能自動化和工作流程工具旨在幫助不同熟練程度的用戶更加輕松快捷地進(jìn)行表面分析。 采用 LSM、WLI 和 FVM 獲得一致性強(qiáng)、一步到位的結(jié)果，有效提升檢測效率和通量。
無縫觀察
OLS5500 會在載物臺移動時自動生成宏觀地圖，實(shí)時跟蹤并記錄每個區(qū)域，輕松完成測量。 提供連續(xù)自動對焦功能，即使在運(yùn)動過程中也能保持清晰對焦—無需手動重新對焦，避免發(fā)生檢測中斷。
主機(jī)
反射型共焦激光掃描顯微成像
反射型共焦激光掃描 DIC 成像
聚焦變化顯微成像、彩色成像、彩色DIC成像
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